Plateforme de Microscopie Electronique à Balayage

Plateforme de Microscopie Electronique à Balayage de CROnenbourg

L’institut a mis en place une plate-forme de microscopie électronique à balayage (MEB). Elle est issue de la collaboration de l’ICPEES et l’IPCMS. Cette plateforme certifiée ISO a été conçue pour la recherche scientifique et pour répondre aux demandes des industriels.

La plateforme MEB comprend trois appareils :

1. Tescan VEGA III à filament de tungstène pouvant imager en mode Low Vacuum
2. JEOL 6700F équipé d’un canon à émission de champ et de détection EDS
3. Zeiss Gemini SEM 500 de dernière génération qui apporte des avancées multiples

• Tescan VEGA III (mis en service en 2012)

Localisé à l’ICPEES, bâtiment R1, niveau 1, ce microscope dispose de trois détecteurs différents :

- Un détecteur Everhart-Thornley sert à l’imagerie générale et collecte à la fois les électrons secondaires et rétrodiffusés. - Un détecteur rétractable YAG à scintillation ne collecte que les électrons rétrodiffusés, ce qui permet de révéler le contraste chimique. - Un détecteur LVSTD permet aussi d'imager les électrons secondaires en mode Low Vacuum, allant de 3 à 500 Pa, facilitant l’étude des échantillons non conducteurs électriques. Un autre avantage de ce MEB réside dans la possibilité de travailler à très faibles grandissements, à très grande distance de travail, et d’avoir dans ces conditions une excellente profondeur de champ.

- Un détecteur Everhart-Thornley sert à l’imagerie générale et collecte à la fois les électrons secondaires et rétrodiffusés. - Le détecteur rétractable à diode à deux segments ne collecte que les électrons rétrodiffusés, ce qui permet de révéler le contraste chimique. - Le détecteur dans la lentille (in-lense) est conçu pour la très haute résolution, à faible énergie et courte distance de travail. - Le détecteur d’électrons transmis permet de produire des images par STEM (Scanning Tunneling Electron Microscopy), en champ sombre ou champ clair.

 - Enfin, un détecteur Gresham SiLi de 30 mm² sert à faire de l’analyse chimique qualitative et quantitative (EDXS) en collectant les rayons X caractéristiques émis par l’échantillon sous le faisceau d’électrons.

Acquisition via le CPER Matériaux-S3

Ce microscope de dernière génération, localisé à l’ICPEES, bâtiment R1, niveau 1, est dédié à la très haute résolution. Il offre des avancées multiples grâce à sa source d’électrons très intense et cohérente basée sur l’effet Schottky. Il dispose pour l’imagerie de cinq détecteurs et d’un détecteur de rayons X pour la micro-analyse élémentaire :

- Un détecteur Everhart-Thornley sert à l’imagerie générale et collecte à la fois les électrons secondaires et rétrodiffusés.

- Un détecteur dans la lentille appelé SE in-lense pour la très haute résolution (pour des objets de moins de 5 nm).

- Un détecteur dans la lentille appelé BSE in-lense pour le contraste de composition à très basse énergie et faible distance de travail. 

- Un détecteur rétractable à diode à cinq segments qui ne collecte que les électrons rétrodiffusés, ce qui permet de révéler le contraste chimique de façon très efficace. 

- Un détecteur d’électrons transmis qui permet de produire des images de STEM (Scanning Tunneling Electron Microscopy), en champ sombre ou champ clair.

- Un détecteur EDAX SDD de 30 mm² sert à faire de l’analyse chimique qualitative et quantitative (EDXS) ainsi que du mapping, même à basse énergie, en collectant les rayons X caractéristiques émis par l’échantillon sous le faisceau d’électrons et ce, tout en préservant la qualité d’image.

• Les services

Les personnels de la plate-forme offrent une formation annuelle labellisée CNRS Formation Entreprise (CFE) dont l’objectif principal est de faire connaître les principes de la microscopie électronique à balayage en science des matériaux.

Les contacts au sein de l’ICPEES pour les demandes de prestation MEB ou l’inscription à la formation CFE sont :

Thierry Dintzer

Tél : +33 (0)3 68 85 27 53

Courriel : thierry.dintzer@unistra.fr

Thierry Romero :

Tél : +33 (0)3 68 85 27 58

Courriel : thierry.romero@unistra.fr

Téléchargez la Fiche de demande d'analyses MEB