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Plateforme de Microscopie Electronique à Balayage

 

 Plateforme

de Microscopie Electronique à Balayage

de CROnenbourg

    

L’institut a mis en place une plate-forme de microscopie électronique à balayage (MEB). Elle est issue de la collaboration de l’ICPEES et l’IPCMS. Cette plateforme certifiée ISO a été conçue pour la recherche scientifique et pour répondre aux demandes des industriels.

La plateforme MEB comprend trois appareils :

  1. Tescan VEGA III à filament de tungstène pouvant imager en mode Low Vacuum
  2. JEOL 6700F équipé d’un canon à émission de champ et de détection EDS
  3. Zeiss Gemini SEM 500 de dernière génération qui apporte des avancées multiples

  

  • Tescan VEGA III (mis en service en 2012)

Localisé à l’ICPEES, bâtiment R1, niveau 1, ce microscope dispose de trois détecteurs différents :

- Un détecteur Everhart-Thornley sert à l’imagerie générale et collecte à la fois les électrons secondaires et rétrodiffusés.

- Un détecteur rétractable YAG à scintillation ne collecte que les électrons rétrodiffusés, ce qui permet de révéler le contraste chimique.

- Un détecteur LVSTD permet aussi d'imager les électrons secondaires en mode Low Vacuum, allant de 3 à 500 Pa, facilitant l’étude des échantillons non conducteurs électriques.

Un autre avantage de ce MEB réside dans la possibilité de travailler à très faibles grandissements, à très grande distance de travail, et d’avoir dans ces conditions une excellente profondeur de champ.

 

En outre, ce MEB permet de faire de l'imagerie 3D par stéréo et un logiciel permet de faire de la mesure topographique grâce au logiciel 

 

  • JEOL 6700F à FEG froid (mis en service en 2001)

Localisé à l’IPCMS, laboratoire n°0036, ce microscope haute résolution est le plus ancien des trois appareils dont dispose la plate-forme. Sa source froide d’électrons, basée sur la technologie de l’émission de champ (Field Emission Gun, FEG), offre une ultra haute résolution. Ce microscope dispose de quatre détecteurs d’électrons et un détecteur de rayons X pour la micro-analyse élémentaire :

- Un détecteur Everhart-Thornley sert à l’imagerie générale et collecte à la fois les électrons secondaires et rétrodiffusés.

- Le détecteur rétractable à diode à deux segments ne collecte que les électrons rétrodiffusés, ce qui permet de révéler le contraste chimique.

- Le détecteur dans la lentille (in-lense) est conçu pour la très haute résolution, à faible énergie et courte distance de travail.

- Le détecteur d’électrons transmis permet de produire des images par STEM (Scanning Tunneling Electron Microscopy), en champ sombre ou champ clair.

 

 - Enfin, un détecteur Gresham SiLi de 30 mm² sert à faire de l’analyse chimique qualitative et quantitative (EDXS) en collectant les rayons X caractéristiques émis par l’échantillon sous le faisceau d’électrons.

 

  • Zeiss GeminiSEM 500 à source FEG Schottky (mis en service en 2016)

Ce microscope de dernière génération, localisé à l’ICPEES, bâtiment R1, niveau 1, est dédié à la très haute résolution. Il offre des avancées multiples grâce à sa source d’électrons très intense et cohérente basée sur l’effet Schottky. Il dispose pour l’imagerie de cinq détecteurs et d’un détecteur de rayons X pour la micro-analyse élémentaire :

- Un détecteur Everhart-Thornley sert à l’imagerie générale et collecte à la fois les électrons secondaires et rétrodiffusés.

- Un détecteur dans la lentille appelé SE in-lense pour la très haute résolution (pour des objets de moins de 5 nm).

- Un détecteur dans la lentille appelé BSE in-lense pour le contraste de composition à très basse énergie et faible distance de travail. 

- Un détecteur rétractable à diode à cinq segments qui ne collecte que les électrons rétrodiffusés, ce qui permet de révéler le contraste chimique de façon très efficace. 

- Un détecteur d’électrons transmis qui permet de produire des images de STEM (Scanning Tunneling Electron Microscopy), en champ sombre ou champ clair.

- Un détecteur EDAX SDD de 30 mm² sert à faire de l’analyse chimique qualitative et quantitative (EDXS) ainsi que du mapping, même à basse énergie, en collectant les rayons X caractéristiques émis par l’échantillon sous le faisceau d’électrons et ce, tout en préservant la qualité d’image.

  • Les services

Les personnels de la plate-forme offrent une formation annuelle labellisée CNRS Formation Entreprise (CFE) dont l’objectif principal est de faire connaître les principes de la microscopie électronique à balayage en science des matériaux.

Les contacts au sein de l’ICPEES pour les demandes de prestation MEB ou l’inscription à la formation CFE sont :

Thierry Dintzer

Tél : +33 (0)3 68 85 27 53

Courriel : thierry.dintzer@unistra.fr


Thierry Romero :

Tél : +33 (0)3 68 85 27 58

Courriel : thierry.romero@unistra.fr

 

Téléchargez la Fiche de demande d'analyses MEB